ФОРМИРОВАНИЕ ЗАЩИТНОЙ УГЛЕРОДНОЙ ПЛЕНКИ НА ПО-ВЕРХНОСТИ ГРАФЕНА МЕТОДОМ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ И ТЕРМООБРАБОТКИ

ФОРМИРОВАНИЕ ЗАЩИТНОЙ УГЛЕРОДНОЙ ПЛЕНКИ НА ПО-ВЕРХНОСТИ ГРАФЕНА МЕТОДОМ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ И ТЕРМООБРАБОТКИ

Предложена методика формирования защитного углеродного слоя для графеновых пленок на основе двухстадийного процесса, включающего осаждение атомов углерода в плазме метана и термообработку. Для осаждения атомов углерода использован радиочастотный индуктивно связанный источник плазмы мощностью 200 Вт...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Ефим Петрович Неустроев, Ирина Ивановна Куркина, Данил Валериевич Николаев
Format: Article
Language:English
Published: Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова 2025-04-01
Series:Ползуновский вестник
Subjects:
графен, плазма, метан, осаждение углерода, углеродная пленка, термообработка, травление в плазме кислорода, морфология поверхности
Online Access:https://ojs.altstu.ru/index.php/PolzVest/article/view/770
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

https://ojs.altstu.ru/index.php/PolzVest/article/view/770

Similar Items