Лазерно-стимульовані процеси в напівпровідниках

Представлено результати оптичних досліджень спектрів відбиття монокристалів n-Si(100) в діапазоні 0.2–1.7 мкм до та після лазерного опромінення в інтервалі енергій 66–108 мДж/см2. Експериментально показано збільшення відбиваючої здатності досліджуваних кристалів при такій лазерній обробці. Розглянут...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: P. O. Gentsar, S. M. Levytskyi
Format: Article
Language:English
Published: Chuiko Institute of Surface Chemistry of NAS of Ukraine 2016-05-01
Series:Хімія, фізика та технологія поверхні
Subjects:
Online Access:https://cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/378
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Представлено результати оптичних досліджень спектрів відбиття монокристалів n-Si(100) в діапазоні 0.2–1.7 мкм до та після лазерного опромінення в інтервалі енергій 66–108 мДж/см2. Експериментально показано збільшення відбиваючої здатності досліджуваних кристалів при такій лазерній обробці. Розглянуто механізми лазерного опромінення. Розраховано залежності глибини утворення ударної хвилі, температури поверхні, глибини плавлення Si при лазерному опроміненні. Проведено оптичні дослідження (спектри відбиття та пропускання) твердих розчинів Ge1-хSix (х=0.85) до і після лазерного опромінення в діапазоні енергій 46.6–163.5 мДж/см2. Показано, що в області фундаментального оптичного переходу цього матеріалу відбиваюча здатність зменшується, а пропускання збільшується зі збільшенням енергії лазерного опромінення.
ISSN:2079-1704
2518-1238