微型齿轮研制中微细加工技术的应用研究 - 任泰安; 秦东晨; 祁建中 (Jixie chuandong)
本文研究了在紫外光光刻条件下用微细加工方法研制微型齿轮的加工工艺 ,对加工过程进行了分析 ,加工水平已达到准LIGA水平