Исследование морфологии наночастиц SiO2 в полирующих суспензиях методами АСМ и СЭМ - Ya. A. Kosenok; V. E. Gaishun; O. I. Tyulenkova; V. G. Denisman; T. A. Gerasimenya; O. A. Matyushonok (Хімія, фізика та технологія поверхні)
Описывается методика получения и результаты исследований морфологии наночастиц в концентрированных водных суспензиях на основе пирогенного диоксида кремния, а также силикатного золя, полученного по ионообменной технологии. Результаты имеют значение для разработки полировальных композиций, а также для установления закономерностей формирования структурных, химических и электрофизических свойств поверхности и объяснения механизма химико-механической полировки полупроводниковых материалов.